產品介紹
Product Introduction
采用磁流體密封技術,網絡化控制系統,具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能,擁有SEMI認證,同時具備超高潔凈度,耐高溫、耐腐蝕,負載能力強等特點。滿足個性化設計支持用戶定制,負載、手臂長度可選,可提供接口及末端定制服務。 了解更多
磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選,手指及接口用戶可定制的特征,耐高溫、耐腐蝕,動態糾偏和碰撞保護功能。 了解更多
直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。 了解更多
一體化,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制,擁有新松自主研發的控制器,Aligner,方便在視窗觀察的可拆卸單元門,易移動框架,帶有隔離的風扇 過濾系統,可拆分的設備結構,保證設備潔凈、可靠的運行 了解更多
磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選,手指及接口用戶可定制的特征,耐高溫、耐腐蝕,動態糾偏和碰撞保護功能。 了解更多