采用磁流體密封技術，網絡化控制系統，具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能，擁有SEMI認證，同時具備超高潔凈度，耐高溫、耐腐蝕，負載能力強等特點。滿足個性化設計支持用戶定制，負載、手臂長度可選，可提供接口及末端定制服務。 了解更多

磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐高溫、耐腐蝕，動態糾偏和碰撞保護功能。 了解更多

直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。 了解更多

高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制。 了解更多

高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制 了解更多

一體化，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風扇 過濾系統，可拆分的設備結構，保證設備潔凈、可靠的運行 了解更多

一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制…… 了解更多

定位精度高,對準速度快,網絡化控制器,適用于Notch和Flat缺口類型,采用真空負壓吸附。 了解更多

磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐高溫、耐腐蝕，動態糾偏和碰撞保護功能。 了解更多